战前德国的半履带车主要由工程师海因里希·克尼普坎普负责设计，1933年纳粹上台之后他的设计被移交至各商业公司做进一步的开发与测试。位于布雷斯劳的FAMO收到了制造18吨半履带式重型牵引车的合同。第一辆原型车FM gr 1于1936年完成，采用迈巴赫HL98 TUK引擎，车长仅有7.7米。1938年完成了F 2型原型车，但与前一辆原型车区别不大。1939年的F 3型原型车最终成为了量产版本，定名为Sd.Kfz. 9。随着战争的进程它的设计也被不断简化，以减少造价和战略金属的使用。从1938年至1945年之间，一共生产了约2,500辆。

1940年，有15辆Sd.Kfz. 9被装上88毫米高射炮用以反坦克，命名为18吨牵引车自行88毫米18年式高射炮（8.8cm Flak 18 Selbstfahrlafette auf 18t Zugkraftwagen）。火炮被安装在可放下护栏的平台上，引擎和乘员位被14.5毫米的装甲覆盖，但也因此限制了火炮角度，使其无法向前发射。